三乙基硅烷，是一种无色透明的有机硅中间体。外观呈无色或浅棕色油状液体；溶于大多数极性有机溶剂，经常在CH2Cl2中使用；密度0.728 g/mL(25°C)，沸点107-108°C，闪点-39C。易水解，放出乙醇，生成相应的缩合物。也可由硅粉在铜催化剂存在下，与乙醇反应来制取。用来合成有机硅中间体及各种硅烷偶联剂。也可以通过岐化反应制备高纯硅烷气体，或者用于制备有机-无机杂化材料。